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磷烷混合气
2023/4/21
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磷烷混合气 |
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化学式 |
PH3+H2/N2/Ar/He |
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纯度 |
6N |
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气瓶规格 |
47L/470L/ 10Mpa |
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阀门型号 |
CGA632/CGA350 |
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浓度 |
100ppm～9.9% |
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