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硅烷混合气
2023/4/23
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硅烷混合气 |
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化学式 |
SiH4+H2/N2/Ar/He |
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纯度 |
6N |
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气瓶规格 |
47L/ 10Mpa |
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阀门型号 |
CGA632/CGA350 |
| 浓度 |
100ppm～20% |
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