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Formula分子式
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Gas Name |
中文名称 |
供气形式 |
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BCl3 Boron |
Trichloride |
三氯化硼 |
47L , 470L |
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CHF3 |
Trifluoromethane |
三氟甲烷 |
47L , 470L |
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C2F6 |
Hexafluoroethane |
六氟乙烷 |
47L , 470L |
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C3F8 |
Octafluoropropane |
八氟丙烷 |
47L , 470L |
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C4F8 |
Octafluorocyclobutane |
八氟环丁烷 |
47L , 470L |
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混合气1 |
PH3+H2/N2/Ar/He |
磷烷混合气 |
47L , 470L |
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混合气2 |
SiH4+ H2/N2/Ar/He |
硅烷混合气 |
47L |
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混合气3 |
B2H6+H2 |
乙硼烷混氢 |
47L , 470L |
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混合气4 |
Si2H6+H2 |
乙硅烷混氢 |
47L |
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混合气5 |
TMB+H2 |
三甲基硼混氢 |
47L , 470L |
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混合气6 |
H2+Ar/N2、O2+Ar |
氢氩、氢氮、氧氩 |
47L |
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工业气 |
N2 ,H2，O2，Ar，CO2 |
3N`5N |
47L , 470L |
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C3H9Al |
Trimethylaluminium |
三甲基铝（TMA） |
22L, 110L , 200L , 500L |
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SiH4 |
Silane |
硅烷 |
47L , 470L |
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He |
Helium |
氦气 |
47L |
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N2O |
nitrous oxide |
一氧化二氮（笑气） |
47L , 440L |
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BBr3 |
Boron tribromide |
三溴化硼 |
47L |
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POCl3 |
phosphorus oxychloride |
三氯氧磷 |
6N，7N |